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蒸着用膜厚モニタ SQM160

膜厚モニター（SQM160）は、蒸着源のコントロールが必要ない場合に最適な低価格のデポジション/エッチングのプロセスモニタです。
表示単位は、レートや膜厚単位（Å）のみならず、質量単位（ng）や周波数単位（Hz）での表示が可能です。センサー入力は2ch（切り替え）で、オプションで8chまで増設が可能です。

特徴
1.センサーチャンネル数2ch標準
　標準でセンサー2ch実装しており、デュアルセンサーにも使用可能です。
　さらに、オプションで4chを追加可能でき最大6chまで拡張できます。（切替ての測定）
2.レコーダ出力2ch
　レコーダ出力には、レートおよび膜厚の2chのアナログ出力を標準装備しています。
　出力電圧は、0～5V
3.タイプのモニター表示単位
　モニター表示値は、レートと膜厚以外に周波数あるいは質量表示ができます。

用途

膜厚モニター

蒸着用膜厚コントローラ SQC310

蒸着用膜厚コントローラSQC-310は多層膜蒸着制御、SQC-310は同時蒸着制御まで幅広い用途に対応が可能な低価格でありながら多機能でコストパフォーマンスに優れた蒸着制御器です

特徴
1.多層膜用途に大きなデータ保存数
　プロセス数100、レイヤー数1000、フィルムデータ50のデータ保存ができ、シーケンシャルな成膜用途に適しています。
　なお、同時蒸着成膜用途にはSQC310Cを用意しています。
2.充実したセンサー、ソース制御チャンネル数およびI/O点数
　標準タイプでは、センサー2ch、ソース制御2ch、デジタル入力8点、リレー出力8点を実装。
　4chタイプでは、各信号は標準タイプの2倍となります。SQC310Cではセンサー4ch、ソース制御4ch、デジタル入力16点、リレー出力16点が標準実装　となります。
3.見やすいモニター画面
　大画面カラー液晶ディスプレィで、表示値やグラフィック表示が見やすくなっています。

用途

薄膜の蒸着制御

蒸着装置 蒸着制御器 TXC/3

シングル、マルチレイヤープロセス薄膜蒸着コントローラーに必要なすべての機能を1台の装置で実現しました。
XTC/3はModeLock技術を使用し、モードホイッピング防ぎ、高い蒸着精度を保証します。
また、実質的にレイヤー数に制限の無い多層薄膜の蒸着速度と膜厚の精密コントロールが可能となり、しかも設置が簡単で極めて高い信頼性を持つこの装置は生産性向上に大きく寄与します。

特徴
1.シングルレイヤ対応モデルとマルチレイア対応モデルをお選びできます。
2.特許を取得したModeLock技術がホイッピングに起因する膜厚誤差を防ぎます。
3.INFICONのCrystal12、CrystalSixおよびデュアルセンサーにも対応し最高の生産性を実現します。
4.マルチレーヤモデルであるXTM/3Mは99までのプロセス、999までのレイア数、32枚までのフィルム、さらにに2個のセンターと2種類の蒸着源をサ　　ポートします。
5.シングルレイアモデルであるXTC/3Sは9枚までのフィルムと2個のセンサ、2種類の蒸着源をサポートします。蒸着制

用途

薄膜の蒸着制御

蒸着制御装置 蒸着制御器 IC 6

IC6は、物理的蒸着用に設計されたクローズドループのプロセス制御器です。
この制御器は、半導体、電子部品製造及び光学機器のコーティング産業において製造、研究に使用することに最も適しています。
熱蒸着、スパッタリングプロセスによって蒸着される薄膜の蒸着レート及び膜厚をモニタあるいは制御します。設定する時間、膜厚、パワー及び必要とするレートを材質の特性に基づいて正確で再現性の良いプロセスで自動的に制御します。

特徴
1.オートZ機能
　従来の蒸着制御器の欠点は、蒸着物質のZレシオ（弾性インピーダンス）がわからなければ正確に測定できない事でした。オートZ機能は、これらの　問題をMODELOCK™を採用することで解決しました。
　この機能は同時蒸着や多層蒸着において、非常に効果を発揮します。
2.オートチューニングコントロール機能
　蒸発源に対して従来の制御器は、チューニングする事が非常に困難でした。
　満足するような結果を得るには数時間を要する事もありました。
　IC6のオートチューニングコントロール機能は、これが可能です。
3.2元同時蒸着測定/制御対応（標準）
　2つのレイヤーの同時蒸着の場合、クロストーク（お互いの蒸発源からの物質が互いのセンサーに飛び込みによる干渉）補正機能ができます。
　最大6ソースからの同時蒸着制御ができます。この場合は、クロストーク補正機能は設定できません。


用途
薄膜の蒸着レート及び膜厚をモニタ、制御　

真空計 クリスタルゲージ 　M-320XG

大気圧から1×10-2Paまでの広い範囲にわたって、信頼性の高い測定が出来ます。
水晶振動子の共振インピーダンスが圧力に応じて変化するという現象を利用していますので、はるかに再現性が高く、また大気圧付近での安定性の
高い測定が可能です。
チャンバの大気圧ベント検出用の圧力スイッチとして、またプロセス圧力の測定などにも使用が可能です。

特徴
1.広い測定範囲
　大気圧から1×10-2Paまで、優れた再現性で測定が可能
2.高い安全性
　クリスタルゲージは、熱源（フィラメント）を持たない真空計
3.コンパクト、超軽量
　コントローラ部は、手のひらサイズ、質量はわずか200g

※A-NET表示器　M‐390・M-391、M-320XG専用の表示器です。
※シングルチャンネル対応です。

用途
1.各種真空装置のあら引き圧力の測定
2.各種プロセスの圧力測定
3.チャンバーベント等の検出用圧力スイッチ
4.その他大気圧から10-2Pa台迄の圧力測定

真空計 表示器(1ch、3chﾀｲﾌﾟ）　M-601GC/603GC

トランスデューサ型真空計シリーズ対応表示器です。
大型デジタルLCD表示で見やすく、操作性も大幅に向上。
現場の利便性を追及した様々な工夫が詰まっています。
用途に合わせて1chタイプと3chタイプがご選択いただけます。


特徴
1.ゲージ自動認識
2.大型デジタルLCD表示
3.RS 232 Cインターフェース標準装備
4.優れた操作性
5.同時表示可能（3ch）
6.見やすい3タイプ表示（3ch）
デジタル表示、トレンドグラフ（最長18H）

真空計 クリスタルイオンゲージ 　M-336MX

低真空領域の測定には優れた再現性と応答性をもつクリスタルゲージを、高真空領域には長年の実績を誇るミニチュアB-Aゲージを
採用したコンビネーションゲージです。大気圧から超高真空まで、広い圧力領域をこの1台で測定できます。


特徴
1.クリスタルゲージとミニチュアB-Aゲージを組み合わせたコンビネーションゲージ
2.超高真空から大気圧
3.高精度、低真空領域において優れた再現性


用途
真空装置の粗引き・到達圧力測定、半導体・電子部品製造装置の圧力測定など

真空計 イオンゲージ　　　 　M-311HG

トランスデューサ真空計シリーズのイオンゲージです。イオンゲージ（熱陰極電離真空計）は再現性、リニアリティーがよく、
広範囲な圧力測定が可能で真空計として優れた特長を持っています。センサーは実績のあるミニチュアゲージ（MG-2Iタイプ）を使用しています


特徴


1.ワイドな圧力測定範囲
10-7Pa～10Paまで、超高真空側の特性を犠牲にすることになく、スパッタプロセスを超える低真空領域まで測定可能
2.高応答アナログ出力
圧力値のアナログ信号出力は、100msec以内と高い応答性を確保し、プロセス圧力コントロールにも使用可能
3.4つのエミッション電流設定モード
高圧力領域側での使用時のフィラメント寿命改善など、用途に合わせ選択が可能

用途
1.生産用真空装置の圧力測定
2.半導体スパッタリング装置の圧力測定
3.各種真空装置

真空計 コールドカソードゲージ 　M370CG

熱フィラメントを使用しておらず堅牢なコールドカソードゲージ(冷陰極電離真空計)です。
高真空から超高真空まで安定した圧力測定を実現します。

特徴
1.優れた測定安定性
　未放電による測定停止、圧力表示値のフラツキを削減
2.高真空下での良好な機動性
　未放電、放電遅れを解消
3.簡易なメンテナンス
　・メンテナンスは部品交換のみ

※水素や酸素といった活性ガスの分圧が高い環境や、これらのガスを大量に使用する環境では、CCゲージの放電開始が著しく遅れる場合があります。そのような環境でご使用になる場合は、弊社にご相談ください。

用途
1Pa～超高真空まで、各種真空測定に幅広く対応
・蒸着、スパッタリング、イオン注入、MBE
・SEM、SIMS、AES、XPS、各種表面/ガス/質量分析
・アニール、溶解、はんだ、リフロー、硬化、電子ビーム溶接
・加速器、サイクロトロン

真空計 ピラニーゲージ（耐蝕性）M-351PG

Niフィラメントを採用し、耐蝕性を向上させ、RIE、CVDなどのハードプロセス装置に対応したモデルです。

特徴
1.耐食性の向上　Niフィラメント採用等
2.再現性がよく低価格
3.5×10-2Paから大気圧

用途
1.半導体、電子デバイス製造装置
2.ドライエッチング装置、プラズマCVD装置、LD-CVD装置など
3.食品・医薬品製造装置
4.真空凍結乾燥、真空蒸留装置、滅菌装置など

真空計 コールドカソードピラニーｹﾞｰｼﾞ　M-361CP

大気圧～中真空を測定するピラニゲージと、高真空～超高真空を測定するコールドカソードゲージを組み合わせたコンビネーションゲージです。
1台で広い圧力領域を測定可能です。
1台2役でシステムのコストダウンや管理負荷低減に貢献します。

特徴
優れた測定安定性
・ピラニとコールドカソードの切替不良、未放電による測定停止、圧力表示値のフラツキを低減
2.優れた大気圧検出を実現
・本器搭載のピラニゲージは、大気圧付近で安定性・再現性が高く、応答性は隔膜真空計と同等
3.簡易なメンテナンス
・コールドカソードのメンテナンスは部品交換のみ

※水素や酸素といった活性ガスの分圧が高い環境や、これらのガスを大量に使用する環境では、CCゲージの放電開始が著しく遅れる場合があります。そのような環境でご使用になる場合は、弊社にご相談ください。

用途
超高真空～大気圧まで、各種真空測定に幅広く対応
(例)
エレクトロニクス・光学：蒸着、コーティング、電子ビームマスク描画、スパッタリング、イオン注入、MBE
分析：電子顕微鏡、SIMS、AES、XPS他、各種表面/ガス/質量分析
各種工業：アニール、溶解、はんだ、リフロー、硬化、電子ビーム溶接、冶金、分子蒸留、ガス充填
高エネルギー物理：加速器、サイクロトロン

真空計 ピラニーゲージ 　M-350PG

大気圧から測定できる手軽さと、高いコストパフォーマンスを併せ持つ用途の広いピラニ真空計です。
低・中真空領域の測定用として、各種システム搭載用として、食品、自動車、医薬品をはじめ、様々な産業でご使用いただけます。


特徴
1.再現性がよく低価格
2.5×10-2Paから大気圧
3.低・中真空領域の測定に最適


用途
粗引き系の圧力測定、排気系の圧力モニタ、制御など

真空計 キャパシタンスゲージ M-342DG

キャパシタンスゲージ“M-342DG”は、圧力センサ部に新開発の小型シリコンMEMSチップを採用することで、温度、振動、気圧変動などの
外部環境から受ける影響を最小限に抑え、高精度で安定した圧力測定、最小限のゼロ点調整頻度を実現した隔膜真空計です。

特徴
1.高精度で安定した圧力測定
・優れたゼロ点安定性
・温度依存性が低く、優れた安定性を温度調整機構なしで実現
・優れた対振動ノイズ性能
2.コンパクト・低消費電力
・質量200g、サイズW46mm×H49mm×L106mmと軽量でコンパクト（※1）
・消費電力0.5W


用途
真空中の圧力の高精度・長期間安定測定に幅広く対応
半導体、ディスプレイ、太陽電池など各種真空装置
・スパッタリング、PECVDなどの真空成膜プロセス圧力の制御、モニタリング
・ロードロック室、ウエハ冷却などのガス導入プロセス、システムの圧力管理
医療、バイオ、食品他各種産業、並びに各種研究開発用途
各種コーティング、プラズマ処理、真空封止、真空炉、分析装置、滅菌、真空ポンプ評価、分子蒸留　など

測定球 ヌードイオンゲージ NIG-2F/NIG-2TF

ヌードイオンゲージ NIG-2F/NIG-2TF

B-A型電極をフランジに直接マウントしています。このまま装置に取付けますので、導管による誤差がなく超高真空の測定に適しております。
グリッドには白金クラッドモリブデン線を用いておりますのでガスの汚染による誤差を極小にしております。
NIG-2Fはタングステンフィラメントを使用しております。また、NIG-2TFはイットリアコートフィラメントを使用して低温度化し、ガス放出を抑えて超高真空の測定を有利にしています。

測定球 ワイドレンジB-Aゲージ BRG-1B