真空機器
キヤノンアネルバ
蒸着装置 蒸着制御器 TXC/3![]()
特徴
シングル、マルチレイヤープロセス薄膜蒸着コントローラーに必要なすべての機能を1台の装置で実現しました。XTC/3はModeLock技術を使用し、モードホイッピング防ぎ、高い蒸着精度を保証します。
また、実質的にレイヤー数に制限の無い多層薄膜の蒸着速度と膜厚の精密コントロールが可能となり、しかも設置が簡単で極めて高い信頼性を持つこの装置は生産性向上に大きく寄与します。
特徴
1.シングルレイヤ対応モデルとマルチレイア対応モデルをお選びできます。
2.特許を取得したModeLock技術がホイッピングに起因する膜厚誤差を防ぎます。
3.INFICONのCrystal12、CrystalSixおよびデュアルセンサーにも対応し最高の生産性を実現します。
4.マルチレーヤモデルであるXTM/3Mは99までのプロセス、999までのレイア数、32枚までのフィルム、さらにに2個のセンターと2種類の蒸着源をサ ポートします。
5.シングルレイアモデルであるXTC/3Sは9枚までのフィルムと2個のセンサ、2種類の蒸着源をサポートします。蒸着制
用途
薄膜の蒸着制御
