真空計
キヤノンアネルバ
真空計 クリスタルゲージ M-320XG![]()
特徴
大気圧から1×10-2Paまでの広い範囲にわたって、信頼性の高い測定が出来ます。水晶振動子の共振インピーダンスが圧力に応じて変化するという現象を利用していますので、はるかに再現性が高く、また大気圧付近での安定性の
高い測定が可能です。
チャンバの大気圧ベント検出用の圧力スイッチとして、またプロセス圧力の測定などにも使用が可能です。
特徴
1.広い測定範囲
大気圧から1×10-2Paまで、優れた再現性で測定が可能
2.高い安全性
クリスタルゲージは、熱源（フィラメント）を持たない真空計
3.コンパクト、超軽量
コントローラ部は、手のひらサイズ、質量はわずか200g
※A-NET表示器 M‐390・M-391、M-320XG専用の表示器です。
※シングルチャンネル対応です。
用途
1.各種真空装置のあら引き圧力の測定
2.各種プロセスの圧力測定
3.チャンバーベント等の検出用圧力スイッチ
4.その他大気圧から10-2Pa台迄の圧力測定
