真空計
キヤノンアネルバ
真空計 クリスタルイオンゲージ M-336MX![]()
特徴
低真空領域の測定には優れた再現性と応答性をもつクリスタルゲージを、高真空領域には長年の実績を誇るミニチュアB-Aゲージを採用したコンビネーションゲージです。大気圧から超高真空まで、広い圧力領域をこの1台で測定できます。
特徴
1.クリスタルゲージとミニチュアB-Aゲージを組み合わせたコンビネーションゲージ
2.超高真空から大気圧
3.高精度、低真空領域において優れた再現性
用途
真空装置の粗引き・到達圧力測定、半導体・電子部品製造装置の圧力測定など
