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- 真空計
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真空計 電離真空計 M-723HG、M-823HG、M-923HG
多様なゲージに対応する豊富な拡張ボードを備えた最も一般的なB-A型電離真空計シリーズです。
真空装置のプロセスコントロールに必要な遠隔操作機能やレンジホールド機能を標準で備えています。CC-Linkで通信制御を行えるタイプも用意してあります。
M-823HGで大気圧から高真空領域までを1台で高精度にカバーします。
特徴
1.圧力レンジは自動切換
2.圧力及び種々のメッセージが液晶表示
3.豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作が可能
4.セットポイントを2点標準装備
用途
1.自動化真空装置の圧力計測
2.スパッタなどのプロセス圧力の測定、制御
3.マルチチャンバシステムでの圧力測定
4.一般真空装置の圧力測定
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- 真空計
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真空計 ワイドレンジ電離真空計 M-831HG
M-833HGは、ミニチュアB-Aゲージ専用のコントロールユニットです。オプションにて、多用なゲージ、データ出力等に対応する拡張ボードが用意されています。ミニチュアB-AゲージとTCゲージ(オプション)のコンビネーション及び、ゲージの自動切替を行うオートフィラメントの搭載により、大気圧~超高真空までの高精度な真空測定を実現出来ます。高真空~超高真空装置搭載に最適です。
特徴
1.豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作が可能
2.セットポイントを2点標準装備
3.最大4ヶのオプションボード取付け可能で機能拡張性が充実
(注記:GP-IBオプションには未対応)
4.RoHS、CEマーキングに対応
用途
1.自動化真空装置の圧力計測
2.スパッタなどのプロセス圧力の測定、制御
3.マルチチャンバシステムでの圧力測定
4.一般真空装置の圧力測定
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- 真空計
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真空計 ワイドレンジ電離真空計 M-431HG
1.CEマーキング対応
2.外部入出力、RS-232C通信機能を標準装備
3.入力電圧はワイド電圧(M-431HG)
4.低消費電力/DC 24V入力
用途
1.自動化真空装置の圧力測定
2.スパッタなどのプロセス圧力の測定、制御
3.マルチチャンバシステムでの圧力測定
4.一般真空装置の圧力測定
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- ダイヤモンドサスペンション・ルーブリカント
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プレシ(PRESI) リフレックスADS / ルーブリカントADS
プレシ ダイヤモンドサスペンションADSはアルコール性のダイヤモンドサスペンションです。
砥粒は多結晶ダイヤモンドです。
アルコールの気化熱によって冷却効果が高いです。
大形の鉄鋼試料のバフ研磨、鉄鋼試料を多数装着した全体荷重ホルダーのバフに適しています。 - Read more →
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- ダイヤモンドサスペンション・ルーブリカント
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プレシ(PRESI) ダイヤモンドGel2+ 多結晶
プレシ ダイヤモンドGel2+(ダイヤモンドジェル ツー プラス)はルーブリカントをが
不要なダイヤモンドサスペンションです。
液の色がモノクロな多結晶ダイヤとカラフルな単結晶タイプがあります。
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- 除振台
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アクティブ型除振台
卓上アクティブ SAT
卓上型アクティブ除振台ラインナップで、最もコストパフォーマンスに優れたSATシリーズ。
(Showa science Active vibration isolation Table)
卓上型アクティブ除振台(防振台)SATシリーズは、サイズに合わせて2タイプをラインナップ。
エアー源不要!オートレベリングシステムが、水平レベルを保ちます。
正面パネルのふたつのボタンで簡単操作。
振動波形もLCDパネルで確認できます。
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- 除振台
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卓上型除振台 高性能ゴム型 PB-5R
特殊エアダンパー機構内蔵防振ゴムを専用開発。
通常の防振ゴムでは得られない高い除振性能を達成。
オリフィスを内臓した空気ばね同様の絞り効果で、
スムーズな振動減衰機能があります。
空気源を必要としないので簡単に使用出来ます。 - Read more →
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- 除振台
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卓上除振台 ST-X型
業界初の超低床20ミリを実現。
新開発ST-Xユニット採用で、空気ばねと同等の
除振性能を達成したハイエンドモデル。
定盤を極限までスリム化。顕微鏡システムの操作性が抜群に向上します。各社大手メーカーの顕微鏡にスマートにフィットします。
正しいアイポイントと、自由なレイアウトを実現します
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- 除振台
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小型卓上型パッシブ除振台 PB-3040
業界最高水準の薄さ61ミリで、自動レベル調整機能を装備。パッシブ卓上除振台のハイエンドモデル。
偏荷重に対応し、自動的に空気ばねレベルを調整して水平を保ちます。
ピンレバー弁をON・OFFする事により、エアーを短時間(約2秒)で給気・排気し、搭載機器調整時の揺動を解消出来ます。
空気源との接続の為、φ6×3mのウレタンチューブが付属します。 - Read more →
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- 除振台
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ディスク型除振台
昭和サイエンスのデスク型除振台(防振台)は、ご予算や用途にあわせて選べる8タイプをラインナップ。
小型コンプレッサーなどのエアー源さえあれば、自動的に空気ばねレベルを調整して水平レベルを保ちます。
レベリングの手間が省けますので、研究、測定に集中することが出来ます。
エアー源の必要のないお客様には、手軽に使える空気密封型のほか、高性能ゴムタイプをご用意しています。
搭載する装置のサイズと重量、ご予算に合わせて簡単にお選びいただけます。
軽量かつ高剛性なので、簡単設置で、高性能な除振効果をすぐに体感できます。
用途に合わせて、棚板、ウィングなどの豊富なオプションをご用意しております。
お客様の作業環境に合わせて、カスタマイズできるのも魅力です。
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- ヘリュームリークディテクター
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コンパクト型ガス分析システム Cシリーズ
「コンパクト型ガス分析システム Cシリーズ」はキヤノンアネルバの長年の多岐にわたるガス分析への対応実績によって培われたガス分析に関するノウハウを生かして、多様なガス分析のご用途への対応をはかりながら、シンプル&コンパクトにまとめたガス分析システムです。すでにマスフィルタを所有されている場合は、後付けのガス分析用排気ユニットとして、分析管の無い構成でもご注文いただけます。
特徴
1.フレキシブルにカスタマイズが可能
基本構成(排気系+マスフィルタ)を選択、さらに各種ご用途を想定し、あらかじめ設定されている推奨オプション類を選択・付加することによって、お客様のご 用途に最適なシステム構成とすることが可能です。
2.省スペース
W480mm×D500mmの省スペースに設置が可能です。
3.簡単操作
シンプルでありながら、基本的なインターロック機能を標準装備し、安心してご使用いただけます。
用途
研究開発用途ガス測定
炉内ガス分析、モニタリング
真空熱処理炉、真空浸炭炉、真空浸窒炉、金属溶解炉、バイオガス化炉、
電子ビーム式溶解炉(EB炉)、ウエハ引上炉 など
昇温脱離ガス分析
触媒反応ガス分析
プロセス装置用途ガス分析
真空装置のプロセスガス測定
真空装置の残留ガス測定/リーク検出
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- ガス分析装置
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コンパクト型ガス分析システム Dシリーズ
四重極型質量分析計の応用技術製品です。各種ガス分析、研究開発分野において最適なガス分析システムです。
用途に合わせて、四重極型質量分析計にTMP排気系とオプションの組み合わせができるフレキシブルな構成となっております。
特徴
1.カスタマイズシステム
・用途に合わせて、四重極型質量分析計、ガス導入系、その他オプションを組み合わせシステムアップ可能
・分析計はM-101QA-TDF、M-101/201QA-TDM、M-401QA-M(高感度/高速)の5機種より選択可能
2.小型、省スペース
・小型架台に四重極型質量分析計、TMP排気系を搭載したコンパクトな構造
3.容易な操作性
・パソコン制御による容易な測定が可能
用途
真空装置残留ガス分析
熱天秤放出ガス分析
昇温脱離ガス分析
炉内ガス分析、モニタリング
真空熱処理炉、真空浸炭炉、真空浸窒炉、金属溶解炉、バイオガス化炉、
電子ビーム式溶解炉(EB炉)、ウエハ引上炉 など
密封ガス分析 等
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- ヘリュームリークディテクター
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四重極型質量分析計(高速測定/高感度測定) M-401QA-MU/G
質量数1~410m/zまで測定が可能な高性能・高機能の四重極型質量分析計です。
M-401QA-MGSY/MUSYは、汎用型質量分析計として、10倍(当社比)の高速測定を実現しました。
四重極型質量分析計(高速測定/高感度測定) M-401QA-MU/G RoHS_category9
特徴
1.高速測定対応(M-401QA-MGSY/MUSY)
M/e=1~400m/zを1秒間隔でデータ取得
2.2種類のイオン源
UHV型(かご型)、ガス導入型(箱型)の選択が可能
3.高感度(M-401QA-MGHY/MUHY)
8桁のダイナミックレンジ
4.低ガス放出分析管
低ガス放出のイオン源を採用、デガス機能有り
用途
加速器真空ガスモニタ
無機ガス分析
熱天秤放出ガス分析
昇温脱離ガス分析
微量ガス分析
PFCガス分析
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- 切断砥石
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プレシ(PESI) ダイヤモンド切断砥石 ELD
■電着されたダイヤモンド層がエポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリウレタン樹脂などの樹脂材料及び複合材料を切断します
■大きな径で埋込み行った試料も切断できます
■通常、ドレッシングは不要です
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- 精密切断機
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プレシ(PRESI) メカトームT210、メカトームT202、フレキシカット用試料チャック、バイス、キャビネット
メカトームT210にチャックを取り付ける場合は 51420 電動式トランスバーサルテーブル、51410サンプルチャック用サポート が必要です。
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