真空計
キヤノンアネルバ
真空計 電離真空計 M-723HG、M-823HG、M-923HG![]()
特徴
多様なゲージに対応する豊富な拡張ボードを備えた最も一般的なB-A型電離真空計シリーズです。真空装置のプロセスコントロールに必要な遠隔操作機能やレンジホールド機能を標準で備えています。CC-Linkで通信制御を行えるタイプも用意してあります。
M-823HGで大気圧から高真空領域までを1台で高精度にカバーします。
特徴
1.圧力レンジは自動切換
2.圧力及び種々のメッセージが液晶表示
3.豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作が可能
4.セットポイントを2点標準装備
用途
1.自動化真空装置の圧力計測
2.スパッタなどのプロセス圧力の測定、制御
3.マルチチャンバシステムでの圧力測定
4.一般真空装置の圧力測定
