ヘリュームリークディテクター
キヤノンアネルバ
四重極型質量分析計（高速測定／高感度測定） M-401QA-MU/G![]()
特徴
質量数１～410m/zまで測定が可能な高性能・高機能の四重極型質量分析計です。M-401QA-MGSY/MUSYは、汎用型質量分析計として、10倍（当社比）の高速測定を実現しました。
四重極型質量分析計（高速測定／高感度測定） M-401QA-MU/G RoHS_category9
特徴
1.高速測定対応（M-401QA-MGSY/MUSY）
M/e＝1～400m/zを1秒間隔でデータ取得
2.2種類のイオン源
UHV型（かご型）、ガス導入型（箱型）の選択が可能
3.高感度（M-401QA-MGHY/MUHY）
8桁のダイナミックレンジ
4.低ガス放出分析管
低ガス放出のイオン源を採用、デガス機能有り
用途
加速器真空ガスモニタ
無機ガス分析
熱天秤放出ガス分析
昇温脱離ガス分析
微量ガス分析
PFCガス分析
