顕微鏡-その他
フローベル
6インチ電動XYステージ 両面顕微鏡システム TOMOS-60XY![]()
特徴
ステージ自動制御、自動計測を搭載した新モデルです。ウエハーや水晶、MEMSなど、ワークの表裏面を同時に見ることができ、両面露光パターンのアライメントマークなどの表裏位置ずれを計測することが可能なシステムです。
・あらかじめ指定したワークの測定箇所に自動で移動し、水晶振動子、MEMS、半導体ウェハ、電子部品の表裏パターンやアライメントマークのずれを自動測定できます。
・円、四角、十字等のアライメントマークのエッジを自動検出し、中心座標同士のずれを測定します。
・ＸＹＺステージ制御条件、測定条件、マップ作成、レシピ登録し、ワークの複数箇所を自動測定。
・ＸＹステージとワークの装着一のずれ補正アライメント機能を搭載。
正確に移動制御し、測定エラーを防ぎます。
