光干渉顕微鏡
東京精密
3D白色干渉顕微鏡 Opt-Scope
特徴
白色干渉の原理を用いて、非接触かつ短時間でワーク形状の 面全体を三次元（３D）的に測定・解析できます。ベアリング等の摺動面(高研磨面)の三次元粗さ・傷・磨耗の解析から、 砥石や超硬チップの刃先の形状評価、半導体ウェーハの表面欠損検出まで、多様なアプリケーションに対応します。最大5つのレンズを搭載できるレボルバ機構を標準装備
多彩なレンズ群を組み合わせることで、ワークや目的に合わせて最適な測定を行なうことができます。（R モデル）
電動XYステージとスティッチング機能を搭載し、より大きな範囲で測定が可能に
12.5 mm または 50 mm の電動ステージを利用し、“ 任意の場所” を、“ 任意の順番” で、“ 複数ヶ所” の測定を連続的に実行します。さらにスティッチング機能を利用して、干渉レンズの視野に収まらない広範囲測定が可能に。
非接触。高分解能。広範囲。
Opt-scope（オプト スコープ）は、0.1 nm の高分解能。
狭範囲の微細粗さ解析から、広範囲のうねり形状解析まで、幅広く応用が可能。
“非接触”かつ“短時間”でワーク形状の面全体を三次元的に評価します。
