電子顕微鏡
カールツァイス
電界放出型走査電子顕微鏡 ZEISS Sigma Family ![]()
特徴
高画質イメージングと高度な解析を実現する電界放出型ＳＥＭ主な仕様
１kV以下で強みを発揮
優れた解像度と最適なコントラスト
イメージングと解析性能の鍵となるのは電子光学カラムです。ZEISS Gemini 1 電子光学系を搭載したSigmaは、特に低加速電圧において、あらゆる試料に対して優れた分解能を発揮します。低加速電圧での分解能は、Sigma360で1.1nm＠1kV、Sigma560では1.0nm＠1kV、1.5nm＠500Vを実現しています。
直感的なイメージングワークフロー
セットアップからAIによる結果取得まで
初心者でも専門知識に基づいたデータ取得が可能です。使いやすく覚えやすいワークフローにより、ナビゲーションから後処理までの各ステップが効率化されます。
機械学習による画像セグメンテーションが可能なAI Toolkitや、スムーズなマルチモーダル実験を可能にするConnect Toolkitなど、各種オプション機能により、解析のスループットが向上します。
困難な条件でもVPイメージングを実現
解析・イメージング用 NanoVP liteモード
ZEISS独自の低真空モード NanoVP liteと新しい検出器が、5kV以下においても非導電性試料からの高品質データの取得を可能にします。
5つの環状セグメントを持つaBSD検出器や次世代C2D(カスケード電流検出器)などの新しい検出器を用意することで、低加速電圧でも優れたイメージングが可能です。
