ガス分析装置
キヤノンアネルバ
四重極型質量分析計（プロセスガスモニタ） M-080QA-HPM![]()
特徴
M-080QA-HPMは、10-9Pa～1.3Paの広範囲で動作可能な四重極型質量分析計です。独自の技術により、超高真空とスパッタリングプロセス中の圧力領域を同一計測器で測定可能です。
成膜中のガスを監視できるため、ガス異常・リーク等の不具合を検知し、プロセス異常による製品不良を未然に防ぐことができます。
特徴
1.チャンバー到達圧力からスパッタプロセス圧力までをシームレスに測定
2.成膜中に高感度で水素を検出可能
3.メンテナンスサイクルが長く、低ランニングコスト
4.様々なアラーム機能により生産中に異常を検出
用途
成膜中の品質管理
残留ガス分析
リークチェック
