PRODUCT製品情報

オートコリメータ

ニコン

真直度測定機 ストレーターTC-3

特徴

レーザー光を基準として、物体が直進運動する際に生じる誤差成分6要素中の4要素(運動方向に直角な平面内の変位2成分とヨーイング、ピッチング)を高精度で同時測定可能な唯一の真直度測定機です。

・この同時測定により、測定時間の短縮や信頼性の高い測定が可能です。
・可視光半導体レーザーの採用でビームが直接見えセッティングが容易におこなえます。
・微調整が可能な検出ブロックが標準で付属しています。

用途
・精密測定機などのXYステージの真直度
・各種工作機械のベッドおよびXYテーブルの真直度
・リニアガイドの真直度測定

主な仕様

仕様

項目 内容
光源 半導体レーザー(640nm付近 出力0.5mV以下)
検出センサ デジタルイメージセンサ
測定距離 2500mm以内
精度保証動作温度 20±1℃
外部インターフェース RS-232C
標準構成 光源部・検出ブロック・カウンタ・リモートボックス
(光源部-カウンタケーブル長3m/リモートボックスケーブル長5m)
RoHS RoHS適合品

性能

項目 分解能 測定範囲 測定精度
距離:~1000mm 距離:~2500mm
変位測定 水平H 0.1μm ±100μm ±1μm ±3μm
垂直V 0.1μm ±100μm ±1μm ±3μm
ヨーイングY 0.1sec ±120sec ±1sec ±2sec
ピッチングP 0.1sec ±120sec ±1sec ±2sec

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