PRODUCT製品情報

真空機器

キヤノンアネルバ

蒸着用膜厚コントローラ SQC310

特徴

蒸着用膜厚コントローラSQC-310は多層膜蒸着制御、SQC-310は同時蒸着制御まで幅広い用途に対応が可能な低価格でありながら多機能でコストパフォーマンスに優れた蒸着制御器です

特徴
1.多層膜用途に大きなデータ保存数
 プロセス数100、レイヤー数1000、フィルムデータ50のデータ保存ができ、シーケンシャルな成膜用途に適しています。
 なお、同時蒸着成膜用途にはSQC310Cを用意しています。
2.充実したセンサー、ソース制御チャンネル数およびI/O点数
 標準タイプでは、センサー2ch、ソース制御2ch、デジタル入力8点、リレー出力8点を実装。
 4chタイプでは、各信号は標準タイプの2倍となります。SQC310Cではセンサー4ch、ソース制御4ch、デジタル入力16点、リレー出力16点が標準実装 となります。
3.見やすいモニター画面
 大画面カラー液晶ディスプレィで、表示値やグラフィック表示が見やすくなっています。

用途

薄膜の蒸着制御


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