真空機器
キヤノンアネルバ
蒸着用膜厚モニタ SQM160![]()
特徴
膜厚モニター（SQM160）は、蒸着源のコントロールが必要ない場合に最適な低価格のデポジション/エッチングのプロセスモニタです。表示単位は、レートや膜厚単位（Å）のみならず、質量単位（ng）や周波数単位（Hz）での表示が可能です。センサー入力は2ch（切り替え）で、オプションで8chまで増設が可能です。
特徴
1.センサーチャンネル数2ch標準
標準でセンサー2ch実装しており、デュアルセンサーにも使用可能です。
さらに、オプションで4chを追加可能でき最大6chまで拡張できます。（切替ての測定）
2.レコーダ出力2ch
レコーダ出力には、レートおよび膜厚の2chのアナログ出力を標準装備しています。
出力電圧は、0～5V
3.タイプのモニター表示単位
モニター表示値は、レートと膜厚以外に周波数あるいは質量表示ができます。
用途
膜厚モニター
