真空計
キヤノンアネルバ
真空計 コールドカソードピラニーｹﾞｰｼﾞ M-361CP![]()
特徴
大気圧～中真空を測定するピラニゲージと、高真空～超高真空を測定するコールドカソードゲージを組み合わせたコンビネーションゲージです。1台で広い圧力領域を測定可能です。
1台2役でシステムのコストダウンや管理負荷低減に貢献します。
特徴
優れた測定安定性
・ピラニとコールドカソードの切替不良、未放電による測定停止、圧力表示値のフラツキを低減
2.優れた大気圧検出を実現
・本器搭載のピラニゲージは、大気圧付近で安定性・再現性が高く、応答性は隔膜真空計と同等
3.簡易なメンテナンス
・コールドカソードのメンテナンスは部品交換のみ
※水素や酸素といった活性ガスの分圧が高い環境や、これらのガスを大量に使用する環境では、CCゲージの放電開始が著しく遅れる場合があります。そのような環境でご使用になる場合は、弊社にご相談ください。
用途
超高真空～大気圧まで、各種真空測定に幅広く対応
(例)
エレクトロニクス・光学：蒸着、コーティング、電子ビームマスク描画、スパッタリング、イオン注入、MBE
分析：電子顕微鏡、SIMS、AES、XPS他、各種表面/ガス/質量分析
各種工業：アニール、溶解、はんだ、リフロー、硬化、電子ビーム溶接、冶金、分子蒸留、ガス充填
高エネルギー物理：加速器、サイクロトロン
