真空計
キヤノンアネルバ
真空計 ワイドレンジ電離真空計 M-831HG![]()
特徴
M-833HGは、ミニチュアB-Aゲージ専用のコントロールユニットです。オプションにて、多用なゲージ、データ出力等に対応する拡張ボードが用意されています。ミニチュアB-AゲージとTCゲージ（オプション）のコンビネーション及び、ゲージの自動切替を行うオートフィラメントの搭載により、大気圧～超高真空までの高精度な真空測定を実現出来ます。高真空～超高真空装置搭載に最適です。特徴
1.豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作が可能
2.セットポイントを2点標準装備
3.最大4ヶのオプションボード取付け可能で機能拡張性が充実
（注記：GP-IBオプションには未対応）
4.RoHS、CEマーキングに対応
用途
1.自動化真空装置の圧力計測
2.スパッタなどのプロセス圧力の測定、制御
3.マルチチャンバシステムでの圧力測定
4.一般真空装置の圧力測定
