PRODUCT製品情報

真空計

キヤノンアネルバ

真空計 ワイドレンジ電離真空計 M-431HG

特徴

1.CEマーキング対応
2.外部入出力、RS-232C通信機能を標準装備
3.入力電圧はワイド電圧(M-431HG)
4.低消費電力/DC 24V入力

用途
1.自動化真空装置の圧力測定
2.スパッタなどのプロセス圧力の測定、制御
3.マルチチャンバシステムでの圧力測定
4.一般真空装置の圧力測定

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