表面粗さ測定機
小坂研究所
微細形状測定機（段差計/膜厚計）ｻｰﾌコーダ
特徴
精度・安定性・機能性抜群で、FPD基板・ウエハー・ハードディスク等の微細形状、段差、粗さ測定に最適な全自動微細形状測定機です。また、多機種の中から用途に合わせて選択できます。
ET4000A・・・多機能な全自動微細形状測定機
ET4000L・・・大きいサイズにも対応できる全自動微細形状測定機
ET4000M・・・リーズナブルで高性能な汎用微細形状測定機
主な仕様
| 最大サンプルサイズ | 210×210mm?300×400mm |
| 再現性 | 1σ 0.5nm以内 |
| 測定範囲 | Z：100μm X：100mm （Y移動量：150?400mm） |
| 分解能 | Z：0.1nm X：0.01μm |
| 測定力 | 0.5μN?500μN |
