電子顕微鏡
カールツァイス
電界放出型走査電子顕微鏡 ZEISS GeminiSEM Family![]()
特徴
多様な試料のサブナノメートルイメージングと高度な分析を可能にするFE-SEMZEISS GeminiSEMでは、サブナノメートルの分解能でのイメージングを、様々な試料でストレス無く実現できます。ZEISSの最先端FE-SEM(電界放出型走査電子顕微鏡）では、電子光学系のイノベーションと新しいチャンバー設計により、画質、操作性、柔軟性が向上しました。これにより、イマージョンレンズを使用せずに1kV以下でサブナノメートル画像を取得できます。ZEISS GeminiSEMファミリーの3種類の装置から、皆様の試料・アプリケーション・目的に応じたベストなソリューションをご提案します。
主な仕様
ZEISS GeminiSEM360
対応でいる試料の多様性は最高クラス
高感度表面イメージングにより、低加速電圧または高プローブ電流で情報を収集することができます。Inlens 検出、NanoVPなど様々な条件でのイメージングに加え、コンテキストに基づいた画像統合管理やAIによるセグメンテーションのメリットを体感できます。
ZEISS GeminiSEM460
高分解能と高電流の両方に対応
低電流・低電圧の作業から、高電流・高電圧の作業にシームレスに切り替えることができます。また、加熱・引張実験用の in situ ソリューションを追加することも可能です。同一平面上のEDS/EBSD設定を活用することで、EDSデータの影のないマッピングや1秒あたり4,000パターンものEBSDマップの迅速な収集もできます。
ZEISS GeminiSEM560
表面イメージングの新たな基準
試料バイアスやモノクロメーションを必要としない、1kV以下かつ1nm以下の分解能での磁場フリーイメージング、新たな電子光学エンジン Smart Autopilot を搭載した Gemni 3、データ取得条件のイメージングの新たな基準となる様々な機能が搭載されています。
