TECHNICAL INFORMATION技術情報

技術情報

試料研磨

作成する資料の解析面には、以下の3つのことが要求されます。

  1  平坦であること

  2  試料本来の姿(True Structure)であること

  3  傷のない光沢面であること

 

この3つの要求を満たすために行う機械的資料作成作業は次の手順で行われます。

 1  材料解析部の確認と記録

 2  解析したい部分を採取するための切断

 3  採取した試料を扱い易くするための埋込み

 4  解析部分の歪みを取り除く研磨

 5  組織を現出させるエッチング

 

ご紹介するのは、研磨について当社ラボに基づく代表的な研磨条件24例です。
お客様の試料の材質と解析目的に応じて、最適な研磨剤を選択する際に、そして時間、荷重、回転スピードを設定の際に、
これらの条件例を参考にしていただけますようお願いいたします。



試料作製条件

※ 条件名をクリックすると詳細にジャンプします。


  01  鉄鋼材 HRC35~55程度


  02  鉄鋼材 HRC35以下


  03  工具鋼 (SKH56、SKT6)、SUS440


  04  ステンレス マルテンサイト系、SUS630


  05  ステンレス フェライト系、オーステナイト系


  06  鋳鉄


  07  ニッケル合金


  08  インコネル


  09  アルミニウム 1000、3000系


  10  アルミニウム合金


  11  純銅


  12  銅合金


  13  純チタン


  14  64チタン(Ti-64Al-4V)


  15  超硬合金(WC-Co系合金)


  16  マグネシウム合金


  17  セラミックス


  18  ガラス


  19  岩石、鉱物


  20  炭素繊維


  21  固めの樹脂(ポリカーボネイトなど)


  22  柔らかい樹脂(PETなど)


  23  電子部品 Siチップおよびハンダ断面


  24  電子部品 セラミックスなど硬い素材を含む


研磨失敗例と対策




01 試料名:鉄鋼材 HRC35~55程度 ダイヤモンドディスク
  研磨クロス等 砥粒サイズ 伸展液 荷重/個 回転数 試料ホルダー(回転方法) 時間
粗研磨

ダイヤモンドディスク
I MAX R
yellow

54μm

 
 

水道水

 

1.5DaN

 

300rpm

 

同方向
150rpm

面だし

 
中間仕上

MED R

 

スーパーアグレッシブサスペンション
9μm for MED R

 

Lub

 

2.5DaN

 
 

150rpm

同方向
135rpm

 

360sec

 

クロス
ADR Ⅱ

 

多結晶ダイヤモンドサスペンション
3μm LDP

 

Lub

 

2.5DaN

 

150rpm

 

同方向
135rpm

 

240sec

 
最終仕上

クロス
RFI

 

アルミナサスペンションNo.2
0.3μm
(水道水で3倍希釈)

 

 

2.0DaN

 

150rpm

 

逆方向
100rpm

 

90sec
+30sec
(水)

 

※研磨面を削り込むには面出しにI MAX R 125μm、75μmを使うと時間を短縮できます。
※1DaN = 10N ≒ 1kgf ≒ 2.2lbf

01 試料名:鉄鋼材 HRC35~55程度 耐水研磨紙
  研磨クロス等 砥粒サイズ 伸展液 荷重/個 回転数 試料ホルダー(回転方法) 時間
粗研磨

耐水研磨紙
P400

35μm

水道水

1.5DaN

300rpm

同方向
150rpm

面だし

中間仕上

クロス
TOP

多結晶ダイヤモンドサスペンション
9μm LDP

Lub

2.5DaN

150rpm

同方向
135rpm

300sec

クロス
ADR Ⅱ

多結晶ダイヤモンドサスペンション
3μm LDP

Lub

2.5DaN

150rpm

同方向
135rpm

240sec

最終仕上

クロス
RFI

アルミナサスペンションNo.2
0.3μm
(水道水で3倍希釈)

2.0DaN

150rpm

逆方向
100rpm

90sec
+30sec
(水)

※研磨面を削り込むには面出しに耐水研磨紙P180(76μm)を使うと時間を短縮できます。
耐水研磨紙P400は60秒で交換してください。
※1DaN = 10N ≒ 1kgf ≒ 2.2lbf



02 試料名:鉄鋼材 HRC35以下 ダイヤモンドディスク
  研磨クロス等 砥粒サイズ 伸展液 荷重/個 回転数 試料ホルダー(回転方法) 時間
粗研磨

ダイヤモンドディスク
I MAX R
yellow

54μm

水道水

1.5DaN

300rpm

同方向
150rpm

面だし

中間仕上

MED R

スーパーアグレッシブサスペンション
9μm for MED R

Lub

2.0DaN

150rpm

同方向
135rpm

360sec

クロス
STA

多結晶ダイヤモンドサスペンション
3μm LDP

Lub

2.5DaN

150rpm

同方向
135rpm

240sec

最終仕上

クロス
TFR

アルミナサスペンションNo.2
0.3μm
(水道水で3倍希釈)

2.0DaN

150rpm

逆方向
100rpm

90sec
+30sec
(水)

※研磨面を削り込むには面出しにI MAX R 125μm、75μmを使うと時間を短縮できます。
※1DaN = 10N ≒ 1kgf ≒ 2.2lbf

 

02 試料名:鉄鋼材 HRC35以下 耐水研磨紙
  研磨クロス等 砥粒サイズ 伸展液 荷重/個 回転数 試料ホルダー(回転方法) 時間
粗研磨

耐水研磨紙
P400

35μm

水道水

1.5DaN

300rpm

同方向
150rpm

面だし

中間仕上

クロス
TOP

多結晶ダイヤモンドサスペンション
9μm LDP

Lub

2.5DaN

150rpm

同方向
135rpm

300sec

クロス
STA

多結晶ダイヤモンドサスペンション
3μm LDP

Lub

2.5DaN

150rpm

同方向
135rpm

240sec

最終仕上

クロス
TFR

アルミナサスペンションNo.2
0.3μm
(水道水で3倍希釈)

2.0DaN

150rpm

逆方向
100rpm

90sec
+30sec
(水)

※研磨面を削り込むには面出しに耐水研磨紙P180(76μm)を使うと時間を短縮できます。
※耐水研磨紙P400は60秒で交換してください。
※1DaN = 10N ≒ 1kgf ≒ 2.2lbf



03 試料名:工具鋼(SKH56,SKT6)SUS440C ダイヤモンドディスク
  研磨クロス等 砥粒サイズ 伸展液 荷重/個 回転数 試料ホルダー(回転方法) 時間
粗研磨

ダイヤモンドディスク
I MAX R
yellow

54μm

水道水

1.5DaN

300rpm

同方向
150rpm

面だし

中間仕上

MED R

スーパーアグレッシブサスペンション
9μm for MED R

Lub

2.5DaN

150rpm

同方向
135rpm

360sec

クロス
ADR Ⅱ

多結晶ダイヤモンドサスペンション
3μm LDP

Lub

2.5DaN

150rpm

同方向
135rpm

240sec

最終仕上

クロス
RFI

アルミナサスペンションNo.2
0.3μm
(水道水で3倍希釈)

2.0DaN

150rpm

逆方向
100rpm

90sec
+30sec
(水)

※研磨面を削り込むには面出しにI MAX R 125μm、75μmを使うと時間を短縮できます。
※1DaN = 10N ≒ 1kgf ≒ 2.2lbf

 

03 試料名:工具鋼(SKH56,SKT6)SUS440C 耐水研磨紙
  研磨クロス等 砥粒サイズ 伸展液 荷重/個 回転数 試料ホルダー(回転方法) 時間
粗研磨

耐水研磨紙
P400

35μm

水道水

1.5DaN

300rpm

同方向
150rpm

面だし

中間仕上

クロス
TOP

多結晶ダイヤモンドサスペンション
9μm LDP

Lub

2.5DaN

150rpm

同方向
135rpm

300sec

クロス
ADR Ⅱ

多結晶ダイヤモンドサスペンション
3μm LDP

Lub

2.5DaN

150rpm

同方向
135rpm

240sec

最終仕上

クロス
RFI

アルミナサスペンションNo.2
0.3μm
(水道水で3倍希釈)

2.0DaN

150rpm

逆方向
100rpm

90sec
+30sec
(水)

※研磨面を削り込むには面出しに耐水研磨紙P180(76μm)を使うと時間を短縮できます。
※耐水研磨紙P400は60秒で交換してください。
※1DaN = 10N ≒ 1kgf ≒ 2.2lbf

 



04 試料名:ステンレス(マルテンサイト系)SUS630 ダイヤモンドディスク
  研磨クロス等 砥粒サイズ 伸展液 荷重/個 回転数 試料ホルダー(回転方法) 時間
粗研磨

ダイヤモンドディスク
I MAX R
yellow

54μm

水道水

1.5DaN

300rpm

同方向
150rpm

面だし

中間仕上

MED R

スーパーアグレッシブサスペンション
9μm for MED R

Lub

2.0DaN

150rpm

同方向
135rpm

360sec

クロス
RAM

多結晶ダイヤモンドサスペンション
3μm LDP

Lub

2.5DaN

150rpm

同方向
135rpm

240sec

最終仕上

クロス
NT

SPM
0.03μm
(水道水で3倍希釈)

2.0DaN

150rpm

逆方向
100rpm

90sec
+30sec
(水)

※研磨面を削り込むには面出しにI MAX R 125μm、75μmを使うと時間を短縮できます。
※1DaN = 10N ≒ 1kgf ≒ 2.2lbf

 

04 試料名:ステンレス(マルテンサイト系)SUS630 耐水研磨紙
  研磨クロス等 砥粒サイズ 伸展液 荷重/個 回転数 試料ホルダー(回転方法) 時間
粗研磨

耐水研磨紙
P400

35μm

水道水

1.5DaN

300rpm

同方向
150rpm

面だし

中間仕上

クロス
TOP

多結晶ダイヤモンドサスペンション
9μm LDP

Lub

2.0DaN

150rpm

同方向
135rpm

300sec

クロス
RAM

多結晶ダイヤモンドサスペンション
3μm LDP

Lub

2.5DaN

150rpm

同方向
135rpm

240sec

最終仕上

クロス
NT

SPM
0.03μm
(水道水で3倍希釈)

2.0DaN

150rpm

逆方向
100rpm

90sec
+30sec
(水)

※研磨面を削り込むには面出しに耐水研磨紙P180(76μm)を使うと時間を短縮できます。
※耐水研磨紙P400は60秒で交換してください。
※1DaN = 10N ≒ 1kgf ≒ 2.2lbf

 



05 試料名:ステンレス(フェライト系、オーステナイト系)
  研磨クロス等 砥粒サイズ 伸展液 荷重/個 回転数 試料ホルダー(回転方法) 時間
粗研磨

耐水研磨紙
P400

35μm

水道水

1.5DaN

300rpm

同方向
150rpm

面だし

耐水研磨紙
P1200

15μm

水道水

1.5DaN

300rpm

同方向
150rpm

60sec

中間仕上

クロス
STA

多結晶ダイヤモンドサスペンション
6μm LDP

Lub

2.5DaN

150rpm

同方向
135rpm

300sec

クロス
TFR

多結晶ダイヤモンドサスペンション
1μm LDP

Lub

2.5DaN

150rpm

同方向
135rpm

240sec

最終仕上

クロス
NT

SPM
0.03μm
(水道水で3倍希釈)

2.0DaN

150rpm

逆方向
100rpm

90sec
+30sec
(水)

※研磨面を削り込むには面出しに耐水研磨紙P180(76μm)を使うと時間を短縮できます。
※耐水研磨紙P400は60秒で交換してください。
※耐水研磨紙P1200は30秒で交換してください。
※1DaN = 10N ≒ 1kgf ≒ 2.2lbf



06 試料名:鋳鉄
  研磨クロス等 砥粒サイズ 伸展液 荷重/個 回転数 試料ホルダー(回転方法) 時間
粗研磨

耐水研磨紙
P400

35μm

水道水

1.5DaN

300rpm

同方向
150rpm

面だし

中間仕上

クロス
TOP

多結晶ダイヤモンドサスペンション
9μm ADS

ルーブリカント ADS

2.5DaN

150rpm

同方向
135rpm

300sec

クロス
RAM

多結晶ダイヤモンドサスペンション
3μm ADS

ルーブリカント ADS

2.5DaN

150rpm

同方向
135rpm

240sec

最終仕上

クロス
NT

多結晶ダイヤモンドサスペンション
1μm ADS

ルーブリカント ADS

2.0DaN

150rpm

同方向
135rpm

120sec

※研磨面を削り込むには面出しに耐水研磨紙P180(76μm)を使うと時間を短縮できます。
※耐水研磨紙P400は60秒で交換してください。
※1DaN = 10N ≒ 1kgf ≒ 2.2lbf

 



07 試料名:ニッケル合金
  研磨クロス等 砥粒サイズ 伸展液 荷重/個 回転数 試料ホルダー(回転方法) 時間
粗研磨

耐水研磨紙
P400

35μm

水道水

1.5DaN

300rpm

同方向
150rpm

面だし

耐水研磨紙
P1200

15μm

水道水

1.5DaN

300rpm

同方向
150rpm

60sec

中間仕上

クロス
STA

多結晶ダイヤモンドサスペンション
6μm LDP

Lub

2.5DaN

150rpm

同方向
135rpm

240sec

クロス
RAM

多結晶ダイヤモンドサスペンション
1μm LDP

Lub

2.5DaN

150rpm

同方向
135rpm

180sec

最終仕上

クロス
SUPRA

SPM
0.03μm
(水道水で3倍希釈)

2.0DaN

150rpm

逆方向
100rpm

90sec
+30sec
(水)

※研磨面を削り込むには面出しに耐水研磨紙P180(76μm)を使うと時間を短縮できます。
※耐水研磨紙P400は60秒で交換してください。
※耐水研磨紙P1200は30秒で交換してください。
※1DaN = 10N ≒ 1kgf ≒ 2.2lbf



08 試料名:インコネル
  研磨クロス等 砥粒サイズ 伸展液 荷重/個 回転数 試料ホルダー(回転方法) 時間
粗研磨

耐水研磨紙
P400

35μm

水道水

1.5DaN

300rpm

同方向
150rpm

面だし

中間仕上

クロス
TOP

多結晶ダイヤモンドサスペンション
9μm LDP

Lub

2.5DaN

150rpm

同方向
135rpm

300sec

クロス
RAM

多結晶ダイヤモンドサスペンション
3μm LDP

Lub

2.5DaN

150rpm

同方向
135rpm

240sec

最終仕上

クロス
NT

アルミナサスペンション No.1
0.04μm
(水道水で3倍希釈)

2.5DaN

150rpm

逆方向
100rpm

150sec
+30sec
(水)

※研磨面を削り込むには面出しに耐水研磨紙P180(76μm)を使うと時間を短縮できます。
※耐水研磨紙P400は60秒で交換してください。
※1DaN = 10N ≒ 1kgf ≒ 2.2lbf



09 試料名:アルミニウム(1000,3000系)
  研磨クロス等 砥粒サイズ 伸展液 荷重/個 回転数 試料ホルダー(回転方法) 時間
粗研磨

耐水研磨紙
P400

35μm

水道水

1.0DaN

300rpm

同方向
150rpm

面だし

耐水研磨紙
P1200

15μm

水道水

1.0DaN

300rpm

同方向
150rpm

60sec

耐水研磨紙
P2400

10μm

水道水

1.0DaN

300rpm

同方向
150rpm

30sec

中間仕上

クロス
RAM Ⅱ

多結晶ダイヤモンドサスペンション
6μm LDP

Lub

2.0DaN

150rpm

同方向
135rpm

240sec

クロス
TFR

多結晶ダイヤモンドサスペンション
1μm LDP

Lub

2.0DaN

150rpm

同方向
135rpm

180sec

最終仕上

クロス
SUPRA

SPM
0.03μm
(原液)

1.5DaN

150rpm

逆方向
100rpm

270sec
+30sec
(水)

※研磨面を削り込むには面出しに耐水研磨紙P180(76μm)を使うと時間を短縮できます。
※耐水研磨紙P400は60秒で交換してください。
※耐水研磨紙P1200、P2400は30秒で交換してください。
※1DaN = 10N ≒ 1kgf ≒ 2.2lbf



10 試料名:アルミニウム合金(上記以外)
  研磨クロス等 砥粒サイズ 伸展液 荷重/個 回転数 試料ホルダー(回転方法) 時間
粗研磨

耐水研磨紙
P400

35μm

水道水

1.5DaN

300rpm

同方向
150rpm

面だし

耐水研磨紙
P1200

15μm

水道水

1.5DaN

300rpm

同方向
150rpm

60sec

中間仕上

クロス
STA

多結晶ダイヤモンドサスペンション
6μm LDP

Lub

2.5DaN

150rpm

同方向
135rpm

240sec

クロス
RAM

多結晶ダイヤモンドサスペンション
3μm LDP

Lub

2.5DaN

150rpm

同方向
135rpm

180sec

クロス
TFR

多結晶ダイヤモンドサスペンション
1μm LDP

Lub

2.0DaN

150rpm

同方向
135rpm

120sec

最終仕上

クロス
SUPRA

SPM
0.03μm
(水道水で3倍希釈)

1.5DaN

150rpm

逆方向
100rpm

90sec
+30sec
(水)

※研磨面を削り込むには面出しに耐水研磨紙P180(76μm)を使うと時間を短縮できます。
※耐水研磨紙P400は60秒で交換してください。
※耐水研磨紙P1200は30秒で交換してください。
※1DaN = 10N ≒ 1kgf ≒ 2.2lbf



11 試料名:純銅
  研磨クロス等 砥粒サイズ 伸展液 荷重/個 回転数 試料ホルダー(回転方法) 時間
粗研磨

耐水研磨紙
P400

35μm

水道水

1.5DaN

300rpm

同方向
150rpm

面だし

耐水研磨紙
P1200

15μm

水道水

1.5DaN

300rpm

同方向
150rpm

60sec

中間仕上

クロス
RAM Ⅱ

多結晶ダイヤモンドサスペンション
6μm LDP

Lub

2.0DaN

150rpm

同方向
135rpm

240sec

クロス
TFR

多結晶ダイヤモンドサスペンション
1μm LDP

Lub

1.5DaN

150rpm

同方向
135rpm

180sec

最終仕上

クロス
SUPRA

SPM
0.03μm
(原液)

1.0DaN

150rpm

逆方向
100rpm

270sec
+30sec
(水)

※研磨面を削り込むには面出しに耐水研磨紙P180(76μm)を使うと時間を短縮できます。
※耐水研磨紙P400は60秒で交換してください。
※耐水研磨紙P1200は30秒で交換してください。
※1DaN = 10N ≒ 1kgf ≒ 2.2lbf



12 試料名:銅合金
  研磨クロス等 砥粒サイズ 伸展液 荷重/個 回転数 試料ホルダー(回転方法) 時間
粗研磨

耐水研磨紙
P400

35μm

水道水

1.5DaN

300rpm

同方向
150rpm

面だし

耐水研磨紙
P1200

15μm

水道水

1.5DaN

300rpm

同方向
150rpm

60sec

中間仕上

クロス
STA

多結晶ダイヤモンドサスペンション
6μm LDP

Lub

2.5DaN

150rpm

同方向
135rpm

240sec

クロス
RAM

多結晶ダイヤモンドサスペンション
3μm LDP

Lub

2.5DaN

150rpm

同方向
135rpm

180sec

クロス
TFR

多結晶ダイヤモンドサスペンション
1μm LDP

Lub

2.0DaN

150rpm

同方向
135rpm

120sec

最終仕上

クロス
SUPRA

SPM
0.03μm
(水道水で3倍希釈)

1.5DaN

150rpm

逆方向
100rpm

90sec
+30sec
(水)

※研磨面を削り込むには面出しに耐水研磨紙P180(76μm)を使うと時間を短縮できます。
※耐水研磨紙P400は60秒で交換してください。
※耐水研磨紙P1200は30秒で交換してください。
※1DaN = 10N ≒ 1kgf ≒ 2.2lbf



13 試料名:純チタン
  研磨クロス等 砥粒サイズ 伸展液 荷重/個 回転数 試料ホルダー(回転方法) 時間
粗研磨

耐水研磨紙
P400

35μm

水道水

1.0DaN

300rpm

同方向
150rpm

面だし

耐水研磨紙
P1200

15μm

水道水

1.0DaN

300rpm

同方向
150rpm

30sec

中間仕上

クロス
STA

多結晶ダイヤモンドサスペンション
6μm LDP

Lub

2.5DaN

150rpm

同方向
135rpm

240sec

クロス
TFR

多結晶ダイヤモンドサスペンション
1μm LDP

Lub

2.0DaN

150rpm

同方向
135rpm

180sec

最終仕上

クロス
SUPRA

SPM
0.03μm
(原液)

1.0DaN

150rpm

逆方向
100rpm

270sec
+30sec
(水)

※研磨面を削り込むには面出しに耐水研磨紙P180(76μm)を使うと時間を短縮できます。
※耐水研磨紙は60秒で交換してください。
※チタンは非常に延性が高いので耐水研磨紙P1200は30秒で交換してください。
※1DaN = 10N ≒ 1kgf ≒ 2.2lbf



14 試料名:64チタン(Ti-6AI-4V)
  研磨クロス等 砥粒サイズ 伸展液 荷重/個 回転数 試料ホルダー(回転方法) 時間
粗研磨

耐水研磨紙
P400

35μm

水道水

1.5DaN

300rpm

同方向
150rpm

面だし

中間仕上

クロス
TOP

多結晶ダイヤモンドサスペンション
9μm LDP

Lub

2.5DaN

150rpm

同方向
135rpm

300sec

クロス
RAM

多結晶ダイヤモンドサスペンション
3μm LDP

Lub

2.5DaN

150rpm

同方向
135rpm

240sec

最終仕上

クロス
SUPRA

SPM
0.03μm
(原液)

2.0DaN

150rpm

逆方向
100rpm

150sec
+30sec
(水)

※研磨面を削り込むには面出しに耐水研磨紙P180(76μm)を使うと時間を短縮できます。
※耐水研磨紙は60秒で交換してください。
※1DaN = 10N ≒ 1kgf ≒ 2.2lbf



15 試料名:超硬合金(WC-Co系合金)
  研磨クロス等 砥粒サイズ 伸展液 荷重/個 回転数 試料ホルダー(回転方法) 時間
粗研磨

ダイヤモンドディスク
ティセディアム

40μm

水道水

1.5DaN

300rpm

同方向
150rpm

面だし

ダイヤモンドディスク
ティセディアム

20μm

水道水

1.5DaN

300rpm

同方向
150rpm

60sec

中間仕上

MED R

ダイヤモンドサスペンション
9μm for MED R

Lub

2.5DaN

150rpm

同方向
135rpm

240sec

クロス
RAM

多結晶ダイヤモンドサスペンション
3μm LDP

Lub

2.5DaN

150rpm

同方向
135rpm

240sec

最終仕上

クロス
SUPRA

アルミナサスペンションNo.1
0.04μm
(水道水で3倍希釈)

2.0DaN

150rpm

逆方向
100rpm

90sec
+30sec
(水)

※研磨面を削り込むには面出しにI MAX R 125μm、75μmを使うと時間を短縮できます。
※1DaN = 10N ≒ 1kgf ≒ 2.2lbf



16 試料名:マグネシウム合金
  研磨クロス等 砥粒サイズ 伸展液 荷重/個 回転数 試料ホルダー(回転方法) 時間
粗研磨

耐水研磨紙
P400

35μm

水道水

1.5DaN

300rpm

同方向
150rpm

面だし

耐水研磨紙
P1200

15μm

水道水

1.5DaN

300rpm

同方向
150rpm

60sec

中間仕上

クロス
STA

多結晶ダイヤモンドサスペンション
6μm ADS

ルーブリカント ADS

2.5DaN

150rpm

同方向
135rpm

240sec

クロス
RAM

多結晶ダイヤモンドサスペンション
3μm ADS

ルーブリカント ADS

2.5DaN

150rpm

同方向
135rpm

180sec

最終仕上

クロス
TFR

多結晶ダイヤモンドサスペンション
1μm ADS

ルーブリカント ADS

2.0DaN

150rpm

同方向
135rpm

120sec

※研磨面を削り込むには面出しに耐水研磨紙P180(76μm)を使うと時間を短縮できます。
※耐水研磨紙P400は60秒で交換してください。
※耐水研磨紙P1200は30秒で交換してください。
※1DaN = 10N ≒ 1kgf ≒ 2.2lbf



17 試料名:セラミックス
  研磨クロス等 砥粒サイズ 伸展液 荷重/個 回転数 試料ホルダー(回転方法) 時間
粗研磨

ダイヤモンドディスク
ティセディアム

40μm

水道水

1.5DaN

300rpm

同方向
150rpm

面だし

ダイヤモンドディスク
ティセディアム

20μm

水道水

1.5DaN

300rpm

同方向
150rpm

60sec

中間仕上

クロス
NWF+

多結晶ダイヤモンドサスペンション
9μm LDP

Lub

2.5DaN

150rpm

同方向
135rpm

240sec

クロス
RAM

多結晶ダイヤモンドサスペンション
3μm LDP

Lub

2.5DaN

150rpm

同方向
135rpm

240sec

最終仕上

クロス
NT

多結晶ダイヤモンドサスペンション
1μm LDP

Lub

2.0DaN

150rpm

逆方向
100rpm

90sec
+30sec
(水)

※研磨面を削り込むには面出しにI MAX R 125μm、75μmを使うと時間を短縮できます。
※脱粒が有る場合は、時間を長くするか、1μmの工程を追加することをお勧めします。
※1DaN = 10N ≒ 1kgf ≒ 2.2lbf



18 試料名:ガラス
  研磨クロス等 砥粒サイズ 伸展液 荷重/個 回転数 試料ホルダー(回転方法) 時間
粗研磨

ダイヤモンドディスク
ティセディアム

40μm

水道水

1.0DaN

300rpm

同方向
150rpm

面だし

ダイヤモンドディスク
ティセディアム

20μm

水道水

1.0DaN

300rpm

同方向
150rpm

60sec

中間仕上

クロス
NWF+

多結晶ダイヤモンドサスペンション
9μm LDP

Lub

2.5DaN

150rpm

同方向
135rpm

240sec

クロス
NWF+

多結晶ダイヤモンドサスペンション
3μm LDP

Lub

2.0DaN

150rpm

同方向
135rpm

240sec

クロス
RAM

多結晶ダイヤモンドサスペンション
1μm LDP

Lub

2.0DaN

150rpm

同方向
135rpm

240sec

最終仕上

クロス
SUPRA

SPM
0.03μm
(水道水で3倍希釈)

1.5DaN

150rpm

逆方向
100rpm

90sec
+30sec
(水)

※研磨面を削り込むには面出しにI MAX R 125μm、75μmを使うと時間を短縮できます。
※1DaN = 10N ≒ 1kgf ≒ 2.2lbf



19 試料名:岩石、鉱物
  研磨クロス等 砥粒サイズ 伸展液 荷重/個 回転数 試料ホルダー(回転方法) 時間
粗研磨

ダイヤモンドディスク
ティセディアム

40μm

水道水

1.5DaN

300rpm

同方向
150rpm

面だし

ダイヤモンドディスク
ティセディアム

20μm

水道水

1.5DaN

300rpm

同方向
150rpm

60sec

中間仕上

クロス
NWF+

多結晶ダイヤモンドサスペンション
6μm LDP

Lub

2.5DaN

150rpm

同方向
135rpm

240sec

クロス
NWF+

多結晶ダイヤモンドサスペンション
1μm LDP

Lub

2.5DaN

150rpm

同方向
135rpm

240sec

最終仕上

クロス
NT

多結晶ダイヤモンドサスペンション
1/4μm LDP

Lub

2.5DaN

150rpm

同方向
135rpm

240sec

※研磨面を削り込むには面出しにI MAX R 125μm、75μmを使うと時間を短縮できます。
※水と反応する試料の場合は、アルコールベースの研磨剤と伸展液をご使用ください。
※1DaN = 10N ≒ 1kgf ≒ 2.2lbf



21 試料名:固めの樹脂(ポリカーボネイトなど)
  研磨クロス等 砥粒サイズ 伸展液 荷重/個 回転数 試料ホルダー(回転方法) 時間
粗研磨

耐水研磨紙
P400

35μm

水道水

1.0DaN

300rpm

同方向
150rpm

面だし

耐水研磨紙
P1200

15μm

水道水

1.0DaN

300rpm

同方向
150rpm

60sec

耐水研磨紙
P2400

10μm

水道水

1.0DaN

300rpm

同方向
150rpm

60sec

中間仕上

クロス
STA

単結晶ダイヤモンドサスペンション
6μm LDM

Lub

2.0DaN

150rpm

同方向
135rpm

240sec

クロス
RAM

単結晶ダイヤモンドサスペンション
1μm LDM

Lub

2.0DaN

150rpm

同方向
135rpm

180sec

最終仕上

クロス
SUPRA

SPM
0.03μm
(水道水で3倍希釈)

1.0DaN

150rpm

逆方向
100rpm

90sec
+30sec
(水)

※研磨面を削り込むには面出しに耐水研磨紙P180(76μm)を使うと時間を短縮できます。
※耐水研磨紙P400は60秒で交換してください。
※耐水研磨紙P1200、P2400は30秒で交換してください。
※1DaN = 10N ≒ 1kgf ≒ 2.2lbf



22 試料名:柔らかい樹脂(PETなど)
  研磨クロス等 砥粒サイズ 伸展液 荷重/個 回転数 試料ホルダー(回転方法) 時間
粗研磨

耐水研磨紙
P400

35μm

水道水

1.0DaN

300rpm

同方向
150rpm

面だし

耐水研磨紙
P1200

15μm

水道水

1.0DaN

300rpm

同方向
150rpm

60sec

耐水研磨紙
P2400

10μm

水道水

1.0DaN

300rpm

同方向
150rpm

60sec

中間仕上

クロス
RAM Ⅱ

単結晶ダイヤモンドサスペンション
6μm LDM

Lub

2.0DaN

150rpm

同方向
135rpm

240sec

クロス
TFR

単結晶ダイヤモンドサスペンション
1μm LDM

Lub

2.0DaN

150rpm

同方向
135rpm

180sec

最終仕上

クロス
FRI

アルミナサスペンションNo.1
0.04μm
(水道水で3倍希釈)

1.0DaN

150rpm

同方向
100rpm

90sec
+30sec
(水)

※研磨面を削り込むには面出しに耐水研磨紙P180(76μm)を使うと時間を短縮できます。
※耐水研磨紙P400は60秒で交換してください。
※耐水研磨紙P1200、P2400は30秒で交換してください。
※1DaN = 10N ≒ 1kgf ≒ 2.2lbf



23 試料名:電子部品(Siチップおよびハンダ断面)
  研磨クロス等 砥粒サイズ 伸展液 荷重/個 回転数 試料ホルダー(回転方法) 時間
粗研磨

耐水研磨紙
P400

35μm

水道水

1.0DaN

300rpm

同方向
150rpm

面だし

耐水研磨紙
P1200

15μm

水道水

1.0DaN

300rpm

同方向
150rpm

30sec

中間仕上

クロス
STA

単結晶ダイヤモンドサスペンション
6μm LDM

Lub

2.0DaN

150rpm

同方向
135rpm

240sec

クロス
RAM

単結晶ダイヤモンドサスペンション
1μm LDM

Lub

2.0DaN

150rpm

同方向
135rpm

180sec

最終仕上

クロス
SUPRA

SPM
0.03μm
(水道水で3倍希釈)

1.5DaN

150rpm

逆方向
100rpm

90sec
+30sec
(水)

※研磨面を削り込むには面出しに耐水研磨紙P180(76μm)を使うと時間を短縮できます。
※耐水研磨紙P400は60秒で交換してください。
※耐水研磨紙P1200は30秒で交換してください。
※最終仕上げクロスSUPRAが試料と密着する場合、圧力を抑えるか、エンボスタイプのクロスSUPRAをご使用ください。
※1DaN = 10N ≒ 1kgf ≒ 2.2lbf



24 試料名:電子部品(セラミックスなど硬い材料を含む)
  研磨クロス等 砥粒サイズ 伸展液 荷重/個 回転数 試料ホルダー(回転方法) 時間
粗研磨

耐水研磨紙
P400

35μm

水道水

1.0DaN

300rpm

同方向
150rpm

面だし

耐水研磨紙
P1200

15μm

水道水

1.0DaN

300rpm

同方向
150rpm

30sec

中間仕上

クロス
MED R

ダイヤモンドサスペンション
6μm for MED R

Lub

1.0DaN

150rpm

同方向
135rpm

240sec

クロス
RAM

単結晶ダイヤモンドサスペンション
1μm LDM

Lub

2.5DaN

150rpm

同方向
135rpm

180sec

最終仕上

クロス
SUPRA

SPM
0.03μm
(水道水で3倍希釈)

1.5DaN

150rpm

逆方向
100rpm

90sec
+30sec
(水)

※研磨面を削り込むには面出しに耐水研磨紙P180(76μm)を使うと時間を短縮できます。
※耐水研磨紙P400は60秒で交換してください。
※耐水研磨紙P1200は30秒で交換してください。
MED-Rは壊れやすい試料には、圧力を極力抑えた設定でご使用ください。
※最終仕上げクロスSUPRAが試料と密着する場合、圧力を抑えるか、エンボスタイプのクロスSUPRAをご使用ください。
※1DaN = 10N ≒ 1kgf ≒ 2.2lbf



研磨失敗例と対策
1 条痕  条痕イメージ

 対策 

面出し研磨時に早めに耐水研磨紙を交換してください。
砥粒交換時には水洗いして、スペシメンドライヤーで研磨屑を吹き飛ばしてください。
研磨盤の周辺を清掃してください。
最終仕上げにSPM液体研磨剤を使用してください。
柔らかい研磨クロスに変えてください。

2 エッジダレ

 対策 

試料と同程度の硬度の埋込樹脂を使用してください。
硬めのクロスに変えてください。
耐水研磨紙を1分以内に交換してください。
I-MAX R、MED Rなどのベースが硬質で研削力の高いディスクを使用してください。
密着の良いエポキシ樹脂で埋め込んでください。

3 刺さり込み

 対策 

耐水研磨紙を早めに交換してください。
単結晶のダイヤモンドスティック、ペーストを使用してください。
柔らかい研磨クロスに変えてください。
ルーブリカントの量を増やしてください。
ワックスを研磨紙の表面に塗ってください。

4 隙間

 対策 

流動性の良いエポキシ樹脂に変更してください。
真空含浸装置を使用してください。
埋込前に試料を洗浄して、切削液や手の脂を落としてください。
試料の寸法に合った成形型で埋め込んでください。

5 洗浄染み

 対策 

密着性の良いエポキシ樹脂を使用してください。
スペシメンドライヤーで乾燥してください。
SPM(非結晶化)以外のコロイダルシリカを使った後はすぐに洗い流してください。
酸化物研磨剤の後は水バフを30秒~1分かけてみてください。
中性洗剤を水で100倍に希釈した液を掛けて、流水で洗い流してください。

詳細情報PDFはこちらからご確認頂けます。

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