NEXIV
CNC画像測定システム NEXIV VMZ-Sシリーズ
特徴
NEXIVシリーズは、数十年に渡り、全世界において、様々な産業分野で活躍しています。VMZ-Sシリーズは、VMZ-Rシリーズからさらに進化したNEXIVです。
拡大する車載向け電子部品や半導体、精密機械部品、成型加工部品などの様々な測定に高精度・高速、および多彩なアプリケーションでお応えします。
また、短距離ステージ移動の高速化により更なる高スループットを実現しました。
測定タクトタイム短縮に貢献します。
VMZ-Rシリーズ同様、ズームヘッドも低倍から高倍まで4タイプ、および高倍率ズームヘッドのタイプTZが準備されています。
主な仕様
VMZ-S3020
・ストローク（X x Y x Z）：300 x 200 x 200mm
・最小表示単位：0.01μm
・測定精度：EUX,MPE EUY,MPE 1.2+4L/1000μm EUXY,MPE 2.0+4L/1000μm
・Z軸測定精度：EUZ,MPE 1.2+5L/1000μm
視野内精度（Type2ヘッド、15倍）
・最大許容プローピング誤差：MPE PF2D 0.8 μm
・最大許容プローブプローピング誤差：MPE PFV2D 0.3 μm
VMZ-S4540
・ストローク（X x Y x Z）：450 x 400 x 200mm
・最小表示単位：0.01μm
・測定精度：EUX,MPE EUY,MPE 1.2+4L/1000μm EUXY,MPE 2.0+4L/1000μm
・Z軸測定精度：EUZ,MPE 1.2+5L/1000μm
視野内精度（Type2ヘッド、15倍）
・最大許容プローピング誤差：MPE PF2D 0.8 μm
・最大許容プローブプローピング誤差：MPE PFV2D 0.3 μm
VMZ-S6555
・ストローク（X x Y x Z）：650 x 550 x 200mm
・最小表示単位：0.01μm
・測定精度：EUX,MPE EUY,MPE 1.2+4L/1000μm EUXY,MPE 2.0+4L/1000μm
・Z軸測定精度：EUZ,MPE 1.2+5L/1000μm
視野内精度（Type2ヘッド、15倍）
・最大許容プローピング誤差：MPE PF2D 0.8 μm
・最大許容プローブプローピング誤差：MPE PFV2D 0.3 μm
＜NEXIV VMZ-S シリーズ紹介動画＞
概要編
＜NEXIV 導入効果＞
＜高精度・高速測定を支える様々な機能＞
＜オプションソフト：評価・結果管理＞
