NEXIV
ニコン
CNC画像測定システム ConFocal NEXIV VMZ-3040/VMZ-K6555 
特徴
二次元測定・高さ測定を同時にできる、一台二役の高機能NEXIVです。明視野画像による二次元測定に加えて、共焦点光学系による視野内一括高さ測定が行えます。輝度差が激しいサンプル、光の反射が不安定な透明体サンプルなどは、共焦点光学系を用いることで、正確に形状/高さを捉え、検出できます。
測定対象物に最適な倍率を使用して頂けるように、タイプS（標準ヘッド）とタイプH（高倍ヘッド）を準備しています。
主な仕様
VMZ-K3040 Type-S/Type-H
・対物レンズ Type-S ：1.5x 3x 7.5x Type-H：15x 30x
共焦点光学系（エリア高さ測定）
・最大高さスキャン幅 1mm
・高さ分解能 0.01μm
・ストローク（X x Y x Z）：300 x 400 x 150mm
・測定精度：EUX,MPE EUY,MPE 1.5+4L/1000μm EUXY,MPE 2.5+4L/1000μm
・Z軸測定精度：EUZ,MPE 1+L/1000μm
VMZ-K6555 Type-S/Type-H
・対物レンズ Type-S ：1.5x 3x 7.5x Type-H：15x 30x
共焦点光学系（エリア高さ測定）
・最大高さスキャン幅 1mm
・高さ分解能 0.01μm
・ストローク（X x Y x Z）：650 x 550 x 150mm
・測定精度：EUX,MPE EUY,MPE 1.5+4L/1000μm EUXY,MPE 2.5+4L/1000μm
・Z軸測定精度：EUZ,MPE 1+L/1000μm
共焦点光学系
