PRODUCT製品情報

NEXIV

ニコン

CNC画像測定システム NEXIV VMZ-Rシリーズ

特徴

VMRシリーズからさらに進化した第三世代NEXIVです。
測定精度がさらに向上しました。
中型部品に最適なXYZストロークを実現し、ズームヘッドも低倍から高倍まで4タイプ、および高倍率ズームヘッドのタイプTZを準備しました。

主な仕様

VMZ-R3020

・ストローク(X x Y x Z):300 x 200 x 200mm

・最小表示単位:0.1μm

・測定精度:EUX,MPE EUY,MPE 1.2+4L/1000μm EUXY,MPE 2+4L/1000μm

・Z軸測定精度:EUZ,MPE 1.2+5L/1000μm

VMZ-R4540

・ストローク(X x Y x Z):450 x 400 x 200mm

・最小表示単位:0.1μm

・測定精度:EUX,MPE EUY,MPE 1.2+4L/1000μm EUXY,MPE 2+4L/1000μm

・Z軸測定精度:EUZ,MPE 1.2+5L/1000μm

VMZ-R6555

・ストローク(X x Y x Z):650 x 550 x 200mm

・最小表示単位:0.1μm

・測定精度:EUX,MPE EUY,MPE 1.2+4L/1000μm EUXY,MPE 2+4L/1000μm

・Z軸測定精度:EUZ,MPE 1.2+5L/1000μm

 

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