NEXIV
CNC画像測定システム NEXIV VMZ－S3020
特徴
VMZ-Rシリーズからさらに進化したNEXIVです。短距離ステージ移動の高速化により更なる高スループットを実現。
測定タクトタイム短縮に貢献します。
ズームヘッドも低倍から高倍まで4タイプ、および高倍率ズームヘッドのタイプTZを準備しました。
主な仕様
| ・ストローク（X x Y x Z）：300 x 200 x 200mm | ||||||
| ・最小表示単位：0.01μm | ||||||
| ・測定精度：EUX,MPE EUY,MPE 1.2+4L/1000μm EUXY,MPE 2.0+4L/1000μm | ||||||
| ・Z軸測定精度：EUZ,MPE 1.2+5L/1000μm | ||||||
| 視野内精度（Type2ヘッド、15倍） | ||||||
| ・最大許容プローピング誤差：MPE PF2D 0.8 μm | ||||||
| ・最大許容プローブプローピング誤差：MPE PFV2D 0.3 μm | ||||||
高スループット
使い易い新デザイン ジョイスティックボックス
