PRODUCT製品情報

NEXIV

CNC画像測定システム NEXIV VMZ-S3020

特徴

VMZ-Rシリーズからさらに進化したNEXIVです。
短距離ステージ移動の高速化により更なる高スループットを実現。
測定タクトタイム短縮に貢献します。
ズームヘッドも低倍から高倍まで4タイプ、および高倍率ズームヘッドのタイプTZを準備しました。

主な仕様

・ストローク(X x Y x Z):300 x 200 x 200mm
・最小表示単位:0.01μm
・測定精度:EUX,MPE EUY,MPE 1.2+4L/1000μm EUXY,MPE 2.0+4L/1000μm
・Z軸測定精度:EUZ,MPE 1.2+5L/1000μm
視野内精度(Type2ヘッド、15倍)
・最大許容プローピング誤差:MPE PF2D 0.8 μm
・最大許容プローブプローピング誤差:MPE PFV2D 0.3 μm

高スループット

使い易い新デザイン ジョイスティックボックス

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