PRODUCT製品情報

NEXIV

CNC画像測定システム iNEXIV VMAシリーズ

特徴

シャープでクリアな画像が得られる、使いやすい広視野タイプのNEXIVです。
広視野と長作動距離で高さ、段差のある被検物を安全に測定できます。
高速・高精度な画像オートフォーカスを搭載しており、効果的なピント合わせが可能です。

主な仕様

VMA-2520

・ストローク(X x Y x Z):250 x 200 x 200mm

・最小表示単位:0.1μm

・測定精度:EUX,MPE EUY,MPE :2+8L/1000μm EUXY,MPE :3+8L/1000μm

・Z軸測定精度:EUZ,MPE :3+L/50μm

VMA-4540

・ストローク(X x Y x Z):450 x 400 x 200mm

・最小表示単位:0.1μm

・測定精度:EUX,MPE EUY,MPE :2+6L/1000μm EUXY,MPE :3+6L/1000μm

・Z軸測定精度:EUZ,MPE :3+L/100μm

VMA-6555

・ストローク(X x Y x Z):650 x 550 x 200mm

・最小表示単位:0.1μm

・測定精度:EUX,MPE EUY,MPE :2+6L/1000μm EUXY,MPE :3+6L/1000μm

・Z軸測定精度:EUZ,MPE :3+L/100μm

 

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