NEXIV
ニコン
CNC画像測定システム iNEXIV VMAシリーズ
特徴
シャープでクリアな画像が得られる、使いやすい広視野タイプのNEXIVです。広視野と長作動距離で高さ、段差のある被検物を安全に測定できます。
高速・高精度な画像オートフォーカスを搭載しており、効果的なピント合わせが可能です。
主な仕様
VMA-2520
・ストローク（X x Y x Z）：250 x 200 x 200mm
・最小表示単位：0.1μm
・測定精度：EUX,MPE EUY,MPE ：2+8L/1000μm EUXY,MPE ：3+8L/1000μm
・Z軸測定精度：EUZ,MPE ：3+L/50μm
VMA-4540
・ストローク（X x Y x Z）：450 x 400 x 200mm
・最小表示単位：0.1μm
・測定精度：EUX,MPE EUY,MPE ：2+6L/1000μm EUXY,MPE ：3+6L/1000μm
・Z軸測定精度：EUZ,MPE ：3+L/100μm
VMA-6555
・ストローク（X x Y x Z）：650 x 550 x 200mm
・最小表示単位：0.1μm
・測定精度：EUX,MPE EUY,MPE ：2+6L/1000μm EUXY,MPE ：3+6L/1000μm
・Z軸測定精度：EUZ,MPE ：3+L/100μm
