PRODUCT製品情報

NEXIV

CNC画像測定システム  ConFocal NEXIV VMZ-3040/VMZ-K6555 

特徴

二次元測定・高さ測定を同時にできる、一台二役の高機能NEXIVです。
明視野画像による二次元測定に加えて、共焦点光学系による視野内一括高さ測定が行えます。輝度差が激しいサンプル、光の反射が不安定な透明体サンプルなどは、共焦点光学系を用いることで、正確に形状/高さを捉え、検出できます。
測定対象物に最適な倍率を使用して頂けるように、タイプS(標準ヘッド)とタイプH(高倍ヘッド)を準備しています。

主な仕様

VMZ-K3040  Type-S/Type-H

・対物レンズ Type-S  :1.5x 3x 7.5x Type-H:15x 30x

共焦点光学系(エリア高さ測定)

・最大高さスキャン幅 1mm

・高さ分解能 0.01μm

・ストローク(X x Y x Z):300 x 400 x 150mm

・測定精度:EUX,MPE EUY,MPE 1.5+4L/1000μm EUXY,MPE 2.5+4L/1000μm

・Z軸測定精度:EUZ,MPE 1+L/1000μm

 

VMZ-K6555  Type-S/Type-H

・対物レンズ Type-S  :1.5x 3x 7.5x Type-H:15x 30x

共焦点光学系(エリア高さ測定)

・最大高さスキャン幅 1mm

・高さ分解能 0.01μm

・ストローク(X x Y x Z):650 x 550 x 150mm

・測定精度:EUX,MPE EUY,MPE 1.5+4L/1000μm EUXY,MPE 2.5+4L/1000μm

・Z軸測定精度:EUZ,MPE 1+L/1000μm

共焦点光学系

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