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特徴

ミニチュアゲージは金属製の小型ゲージ球です。
到達圧力からスパッタ等のプロセス圧力（1Pa台が測定可）までの圧力計測が1つのゲージで行なえます。
ゲージアダプタ（O-リング差込み式）に接続するタイプ。（φ15mm、φ18mm）
ＮＷ16・25、φ34ICF、φ70ICFタイプを揃えています。

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