表面粗さ測定機
小坂研究所微細形状測定機(段差計/膜厚計)サーフコーダ
特徴
精度・安定性・機能性抜群で、FPD基板・ウエハー・ハードディスク等の微細形状、段差、粗さ測定に最適な全自動微細形状測定機です。また、多機種の中から用途に合わせて選択できます。
ET4000A・・・多機能な全自動微細形状測定機
ET4000L・・・大きいサイズにも対応できる全自動微細形状測定機
ET4000M・・・リーズナブルで高性能な汎用微細形状測定機
主な仕様
最大サンプルサイズ | 210×210mm?300×400mm |
再現性 | 1σ 0.5nm以内 |
測定範囲 | Z:100μm X:100mm (Y移動量:150?400mm) |
分解能 | Z:0.1nm X:0.01μm |
測定力 | 0.5μN?500μN |