ガス分析装置
キヤノンアネルバ
四重極型質量分析計（トランスデューサタイプ） M-070QA-TDF、M-101QA-TDF、M-101/201QA-![]()
特徴
M-101QA-TDF、M-101/201QA-TDMは高感度・高機能で低ガス放出を実現したPC制御専用の四重極型質量分析計です。M-070QA-TDFは各種真空装置の残留ガスモニタに最適な、低価格版です。
特徴
1.高感度
・検出器に2次電子増倍管を使用（M-101/201QA-TDM）
2.低ガス放出分析管
・低ガス放出のイオン源を採用
・デガス機能有り（※1）
3.優れた基本性能―高度な分析に対応―
・イオン化電圧、エミッション電流の細かい設定が可能（※1）
・広いダイナミックレンジ
※１：M-070QA-TDFは対象外
用途
残留ガスモニタ、加速器等の真空モニタ、無機ガス分析、昇温脱離ガス分析、等
