光学顕微鏡
フローベル
両面顕微鏡システム TOMOSー50![]()
特徴
水晶振動子、MEMS、半導体等の電子部品の表裏を同時に撮影、±0.2㎛以下の精度で測定できます。主な仕様
・画像ファイリング
・表裏形状測定
・表裏同時観察
・合成比較
・表裏映像重ね合わせ表示
・表裏映像重ね合わせでの表裏位置ずれ計測
・画像ファイリング
・表裏形状測定
・表裏同時観察
・合成比較
・表裏映像重ね合わせ表示
・表裏映像重ね合わせでの表裏位置ずれ計測
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