レーザー顕微鏡
レーザーテック
ハイブリッドレーザーマイクロスコープ OPTELICS HYBRID![]()
特徴
用途各種材料の観察及び形状測定：
半導体材料＆デバイス、透明膜、ITO膜、MEMS、コーティング材料、フィルム、
無機・有機材料、バイオ系試料、金属部品、プラスチック加工部品など
主な仕様
| 観察機能 | レーザー高分解能観察,カラーコンフォーカル観察,微分干渉観察 |
| 測定機能 | 高さ測定、表面粗さ測定、形状特徴(面積・体積・表面積など）、光干渉測定、反射分光膜厚測定 |
| 高さ測定 | 正確さ ±（0.11＋L/100）um |
| 測定再現性（σ）0.01um | |
| 幅測定 | 正確さ ±（0.02×{100/対物レンズ倍率}＋L/1000）um |
| 測定再現性（3σ）0.01um | |
| フレームレート | 15Hz～120Hz |
| 波長選択機能 | 436nm,486nm,514nm,546nm,578nm,633nm |
| 操作モード | 全自動設定,操作ガイダンス,マクロ機能,簡単モードなど |
| オプション | 自動測定ソフト,自動検査ソフト,大型特殊ステージなど |
