PRODUCT製品情報

真空機器

キヤノンアネルバ

蒸着用膜厚モニタ SQM160

特徴

膜厚モニター(SQM160)は、蒸着源のコントロールが必要ない場合に最適な低価格のデポジション/エッチングのプロセスモニタです。
表示単位は、レートや膜厚単位(Å)のみならず、質量単位(ng)や周波数単位(Hz)での表示が可能です。センサー入力は2ch(切り替え)で、オプションで8chまで増設が可能です。

特徴
1.センサーチャンネル数2ch標準
 標準でセンサー2ch実装しており、デュアルセンサーにも使用可能です。
 さらに、オプションで4chを追加可能でき最大6chまで拡張できます。(切替ての測定)
2.レコーダ出力2ch
 レコーダ出力には、レートおよび膜厚の2chのアナログ出力を標準装備しています。
 出力電圧は、0~5V
3.タイプのモニター表示単位
 モニター表示値は、レートと膜厚以外に周波数あるいは質量表示ができます。

用途

膜厚モニター

ご意見・お問い合わせはこちらから