PRODUCT製品情報

真空機器

キヤノンアネルバ

センサ(蒸着制御機器)

特徴

通常の蒸着には、水晶振動子1枚のスタンダード、コンパクトおよび2枚のデュアルセンサを、さらに長い交換サイクルが必要な場合に効果を発揮する水晶振動子6枚のクリスタル6あるいは、水晶振動子12枚のクリスタル12を推奨します。
チャンバーを高温にベーキングする真空装置にはベーカブルセンサを、スパッタプロセスにはスパッタセンサを用意しております。蒸着用膜厚モニタ

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